直覺式操作介面，可支援多國語言，並可顯示統計品質管制圖(SQC)等測量結果，方便即時監控，確保最佳製程條件。
MEK軟體特色
• 使用者友好操作介面
• 便於存取的資料儲存
• 支援多國語言
• 客製化程式設計
支援多種產業標準格式
量測資料輸出APC 自動膜厚控制軟體 (選購)
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