適用於6吋和8吋晶圓光罩對準曝光機的高功率UV LED準直光源系統
ALE/1C UV LED曝光系統取代傳統1 kW汞放電燈
Primelite UV LED曝光系統—先進光引擎ALE/1C是一種強大的點光源，可應用於許多高性能工業UV曝光製程，適用於6吋和8吋晶圓的半自動和自動光罩對準曝光機或寬頻晶圓步進機系統(1X步進機/迷你步進機)。基於UV LED技術，其性能優於傳統高壓汞放電燈，具有出色的光源輸出穩定性和靈活的光譜控制，還具備低能耗、不產生太多的熱、使用壽命長，且整體維護成本低等優勢。
Primelite秉持將產品打造為多功能平台的原則，ALE/1C UV LED曝光系統也不例外–允許您在光路中組合多達三個不同的UV LED晶片，多數情況下是i line (CWL 365 nm)、h line (CWL 405 nm) 和 g line (CWL 436 nm)等波長的LED晶片，其照明射功率超過傳統1 kW汞放電燈。
產品特色
● 內建解決方案可實現最大曝光效率與效能
● 高達50W的寬頻曝光 (350 - 450 nm)
● 閉迴路控制的光源輸出可獲致最佳的製程穩定性
● 不含汞！安全且環保的LED光源
● UV LED技術可延長使用壽命並降低總體擁有成本TCO
● 優異的德國製造品質
ALE/1C UV-LED 曝光系統之光源輸出:
ALE/1C的標準配置是將峰值波長與汞燈光譜i line (365 nm)、h line (405 nm)和g line (436 nm)相當的UV LED晶片組合而成。所有的UV LED晶片均可單獨控制，因此無需更換濾波片即可切換光源波長，並可自訂輸出光譜的組成。
|
光譜 |
光角分布 (方形光管輸出) |
功率:
|
Radiation [mW]1 |
Optics |
Broadband (350 - 450 nm) |
i-line (365 nm) |
|
ALE/1C (高性能模式) |
Ø8.0 mm HEX AR |
50,000 |
21,000 |
|
ALE/1C (標準模式) |
Ø8.0 mm HEX AR |
40,000 |
17,000 |
版權所有 © 展締科技股份有限公司. All Rights Reserved.
