半自動3D檢測設備，由於sub-um三維解析度和快速區域掃描技術，非常適合um等級的複雜結構表面，高精確度的3D量測。待測物尺寸可至6”（150 mm），適合off-line的生產速度，R&D、QAC、產品或工程關鍵尺寸確認等，需要三維sub-um級精確度的量測。
Polaris能夠實現對表面的高精確度的3D成像與動態展現。經由物鏡鼻輪，搭配不同倍率的物鏡，即時掌握到觀察到的細節，並能完成測量，節省很多R&D的時間。透過量檢測分析軟體與演算法，橫向平面量測解析可至70 nm，垂直量測解析可至0.1 nm，是三維解析度均在sub-um的高階量測設備，加上具有專利的快速區域掃描技術，非常適合um等級的複雜結構表面，高精確度的3D量測。
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