全新的Solarius高階檢測製程平台，適用於半導體業自主製造且符合SECS/GEM標準的晶圓計量工具，可用於檢查IC、微透鏡或MEMS 等半導體製程所製造的元件。
SIMP是全新的 Solarius高階檢測製程平台，適用於檢查IC、微透鏡或MEMS 等半導體製程所製造的元件，且符合SECS/GEM標準的晶圓計量工具。SIMP允許整合Solarius產品組合中，所有提供的光學感測器技術，以及多個感測器的組合，包括彩色共焦點和線感測器、共焦區域感測器、雷射線三角測量感測器、干涉感測器和 2D 攝影機系統。SIMP採用模組化概念，允許處理所有晶圓尺寸和類型，包括超薄晶圓和Taiko晶圓，完全符合SEMI要求的標準製作。在Windows軟體平台上，實現可以簡單、直觀操作的使用者介面，並提供警慎的防錯功能。此外，還可以選擇符合FDA標準的審計追踪，以滿足醫療領域的國際要求和標準。
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