晶圓取放傳送系統 mWL 150/200是專為自動取放傳送150/200 mm (6”/8”) 晶圓設計，達到EFEM功能，並可視晶圓特性，搭配利用伯努利真空原理，正面、背面或側面擷取晶圓的夾爪。
晶圓取放傳送系統 mWL 150/200模組化設計理念的一致性，保證了與最廣泛的開放式晶圓盒的完全相容性，將150/200 mm (6”/8”)晶圓從晶圓盒全自動裝載到客戶要求整合OEM工具的定制載台上。先進的感測器技術確保可靠檢測所有不同的wafer類型。
系統特性：
• 適用晶圓尺寸: 6”/8”
• 適用晶圓種類: 標準, 薄型, 翹曲, FOWLB, Taiko, Glass和MEMS
• 適用裝框架的晶圓
• 符合最高標準的可靠性和可用性
• 使系統佔用空間最佳化
• 兩個晶圓盒裝卸口位置
• 晶圓 ID 的 OCR 讀取器
• 檢測晶圓用傳感器（mapping sensor）
• 適用6"和8"預先對位儀
• 符合SECS/GEM協定的介面
• 經CE認證
• 符合SEMI標準
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